溫濕度對產品的質量影響很大,例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清理。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產比較好濕度范圍為35—45%。好的凈化工程公司的標準是什么。鄭州化工凈化工程參數
凈化工程
潔凈室噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準,目的在于保障操作正常進行,滿足必要的談話聯系及安全舒適的工作環境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標是:1.煩惱的效應由于噪聲,使人感到不安寧而產生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個煩惱等級。凡反應水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數在總人數中的百分比即為高煩惱率。2.對工作效率的影響這主要看三方面的反應水平,這三個方面是:集中精神,動作準確性,工作速度;3.對綜合通訊的干擾這主要分為:清楚或滿意,稍困難,困難,不可能對以上三方面指標都用A聲級來評價。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評價標準即各頻帶中心頻率的聲壓級不得超過該曲線。后來了解到刷A等級來計量噪聲與噪聲的語音干擾和煩惱程度更為臺適,可以代替倍頻帶聲壓級作為評價標準的指標。常州凈化工程設備凈化工程的使用時要注意什么?
潔凈室的防火分區根據《建筑設計防火規范》和《潔凈室設計規范》,潔凈室的耐火等級不應低于二級一般鋼筋混凝土框架結構均滿足二級耐火等級的要求。根據火災危險性,生產分為甲、己、丙、丁四類,制藥行業的原料藥生產中大量使用汽油、乙醇等有機溶媒的廠房,如青霉素提煉部位,原料藥廠的非納西汀車間的烴化、回收及電感精餾部位,冰片、皂素、安乃近、維生素B。的精制部位.生產中大量使用乙醇、等有機溶媒,如青霉索提煉廠房、強力霉素提煉廠房等都屬于甲類。按火災危險類別,在平面布置上可確定防業分區而積。火災發生后,半小時內溫升極快,不燃結構的火災初起階段持續時間約在5~20mln之內,起火點尚在局部燃燒,火勢不穩,有中斷的可能。因而這段時間對于人員疏散、搶救物資極為重要。考慮人群在平地行走速度約為16m/m,樓梯上為10m/mm,附加途中的障礙,若控制疏散距離為50m,約可在4min內疏散完畢。當然這還需要有明顯的引導標志和緊急照明m’疏散距離就是確定安全出口位置的根據。
國際化日益加強,我們近些年建造國外的潔凈室也越來越多,很多國外潔凈室對廣招的強度強度要求極高,例如美國關于潔凈室的幾個標準的要求:一是人工光300lx以上有較好的效果,當工件精細程度更高時,大于500Lx也是允許的。二是對于特殊照明的地方,為了防止感光材料的感光,必須使用黃色或紅色光源的,應滿足其特殊要求選用黃色熒光燈管或低壓鈉燈,黃色熒光燈管也有兩種,一種為燈管內壁涂黃色熒光粉;另一種為白色熒光燈管外套黃色塑料套管,他們的光通量比一般熒光燈都要低如電子行業的光刻車間,其照度一般為(25—50Lx)。用天然光時可允許更高的照度,因而對工作是有利的,所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節能而出現的一種動向。如何正確使用凈化工程的。
氣壓也是潔凈室一個重要的指標,對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。否則低潔凈區一段的空氣就會因為開門開窗或者密封不好的情況下通過壓力形式進入到高潔凈區,給高潔凈區行成一定的污染。(特殊情況下除外,例如一些生物潔凈室和污染性強的氣體潔凈室一般采用負壓形式的負壓潔凈室。)所以通常情況下,潔凈室的壓力差維持一般應符合以下原則:1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。潔凈室的壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。哪家的凈化工程性價比比較高?南通藥廠凈化工程標準
如何選擇一家好的凈化工程公司。鄭州化工凈化工程參數
半導體制造潔凈室一些工藝生產過程的潔凈等級要求:一般的是光照制造,還有微環境,其他的一些大的區域,包括薄膜等在百級。潔凈度的要求是不是越高越好,這個主要還是決定我們的設計,或者對生產的要求,潔凈度越高意味著FU覆蓋率會成倍的增加。目前對一些潔凈室的設計還是大環境,不需要很高的潔凈度。還有濕度控制,濕度控制主要通過循環通氣冷卻系統,去除潔凈室循環空氣的顯熱,終控制潔凈室溫度。濕度控制主要通過新風控制箱進行控制,溫度的控制目的有兩個,首先是人員的舒適性,溫度在21-23度都沒有問題,作為制程來說我們關注的是波動性。控制潔凈房的濕度主要目的是濕度過低將容易產生靜電、濕度過高,對產品的影響。第點是正壓,通過潔凈室內的壓力傳感器控制MAU風機的頻率改變送風量保持潔凈室的設定正壓,靜壓層保持微正壓。再來就是照度和噪聲,這個部分在新的標準里面有詳細的描述,這里不具體進了。因為現在半導體制造設備尺寸越來越大,安裝起來部分照明會被遮掩,聞聲的問題比較難解決,主要在設備洗型的時怪注意,接下來是靜電控制的問題(SD),這個本身會造成產品的損害或者設備的損害,半導體有ESD的標準鄭州化工凈化工程參數
蘇州市華高潔凈技術有限公司屬于環保的高新企業,技術力量雄厚。是一家有限責任公司(自然)企業,隨著市場的發展和生產的需求,與多家企業合作研究,在原有產品的基礎上經過不斷改進,追求新型,在強化內部管理,完善結構調整的同時,良好的質量、合理的價格、完善的服務,在業界受到寬泛好評。公司擁有專業的技術團隊,具有潔凈棚,凈化工程,FFU,貨淋室等多項業務。華高潔凈自成立以來,一直堅持走正規化、專業化路線,得到了廣大客戶及社會各界的普遍認可與大力支持。